CMA-3100 установка контактной литографии

Количество сторон одновременного экспонирования: две

Минимальное разрешение по верхней стороне: 1,0 мкм* 

Минимальное разрешение по нижней стороне :1,0 мкм

Держатель фотошаблонов размером c верхней загрузкой фотошаблона: 

102х102 мм (4"x 4”) 

127х127 мм (5"x 5”) 

152х152 мм (6"x 6”) 

176х176 мм (7"x 7”) 

Ручная загрузка\выгрузка пластин: Да 

Микроскоп двойного поля: видео CCD 

Поле наблюдения:D 6 мм 

Точность совмещения по модулю видео: 1 мкм 

Габариты и вес:

Длина-800
Ширина-1500 

Высота-1600 

Масса нетто-300 кг